明基能源攜手世界先進達到冷熱雙重節能
1994年12月5日成立至今，世界先進積體電路股份有限公司製程技術及生產效能上不斷精進，成為特殊積體電路製造服務的領導廠商。世界先進目前擁有三座八吋晶圓廠，其中晶圓三廠因製程熱水加熱及空調加熱及加溼，蒸氣用量大且空壓機產生大量須用冰水(冰機耗能)降溫的廢熱，在大量生產的同時，如何將廢熱及蒸汽減降到最低，抑或轉換成可利用能源，達到熱能及冷能雙重節省之效果，成了世界先進最主要的課題。
一分鐘瞭解問題與效益呈現
問題核心：
如何將空壓機產出之廢熱當熱源，提供給製程熱水及空調加熱使用，一方面降低蒸汽之使用(熱能節省)，另一方面則減少廢熱降溫過程之冰水耗能(冷能節省)，達到熱能及冷能雙重節省之效果
導入系統：智慧能源
產品效益：
1. 能源績效指標1(蒸汽)：改善前31,865噸/年，改善後14,326噸/年，節能量17,539噸/年，節能率55%。
2. 能源績效指標2(冰水耗電)：改善前4,669,581度/年，改善後3,032,343度/年，節能量1,637,237度/年，節能率35%。
3. 能源績效指標3(泵浦耗電)：改善前837,907度/年，改善後515,635度/年，節能量322,272度/年，節能率38%。
4. 能源績效指標4(乾燥機耗電)：改善前518,400度/年，改善後259,200度/年，節能量259,200度/年，節能率50%。
5. 能源績效指標5(空壓機耗電)：改善後增加276,480度/年。
蒸氣能源改善17,539頓/年
透過特別設計，讓空壓機廢熱回收最大化，減少製程熱水及空調加熱使用的蒸汽量。因空調需求量會隨季節變化，當夏季空調需求量變小時，熱回收系統的空調回水溫可能高於25℃，於進入空壓機前會經強制冷卻器(以5℃冰水做冷卻)將熱回收水溫降至20℃，以避免空壓機耗電增加。為提供使用端足夠之溫度及熱量，空壓機需做高溫熱回收改造，對螺桿機而言，需更改機器內部冷卻水迴路，對離心機而言，目前市場上普遍是只做第三級壓縮後之高溫氣體則做熱回收，第一級壓縮級第二級壓縮後之高溫氣體則不做熱回收，因為改造不能造成離心式空壓機運轉喘震而當機。
冰水電能耗電率改善1,637,237度/年
空壓機廢熱要透過冰水冷卻(冰水系統耗電)，因為回收了大部分的熱能，以至於冰水冷卻之需求減少，進而節省冰水系統耗電。回收廢熱量等於冰水減少之冷量。
泵浦耗電率改善322,335度/年
因為原本之空壓機冷卻水系統，是透過小溫差、大流量來完成，所以，循環泵浦之耗電較大，空壓機做熱回收改造後，為達成回收熱能最大化，循環泵浦是採用大溫差、低流量設計，因此，循環泵浦之耗電減少。
空壓機-吸乾機耗電改善後增加276,480度/年
空壓機實施熱回收改造後，為避免空壓機氣側出口溫度過告連帶影響到含水率，而使吸乾機的耗電增加，本專案在空壓機出口側增加後部冷卻器(After Cooler)，此冷卻器在熱交換器的冷側設計上，會以5℃冰水來冷卻，因此，壓縮空氣經過後部冷卻器後，溫度較低 (例如10℃)，此時之含水率變低，對吸乾機之負荷變輕，吸乾機耗電因而變少。
本案為達到最佳廢熱回收效果，將離心機之三段壓縮熱都做高溫熱回收，而配套條件即是熱回收熱交換器之空壓側壓損需很小(例如＜0.1Bar)，空壓機之供應壓力需提高以補償新增之熱回收熱交換器壓損，因為既有離心式空壓機(A-103)壓力無法補償新增壓損，所以，需購買新的空壓機來做三段壓縮熱回收，以提供較多之高溫廢熱，同時，為達成廢熱最有效之利用，除透過新增熱交換器做高溫(95℃)熱回收外，既有之第一級與第二級殼管熱交換器仍可提供低溫(35℃)廢熱源。
